Optical Inspection

开发多模态融合的量测技术，研究玻璃基三维结构内部形貌（TGV孔深/孔径/锥度、互连线宽/厚度/粗糙度、层间对准）无损量测方法，提升穿透深度、分辨率和精度；研究玻璃基三维结构内部缺陷（空洞、裂纹、分层）无损检测方法，提高检测灵敏度和定位精度。构建多源异构量测数据融合框架（形貌、缺陷、应力、电学等），开发基于深度学习的缺陷自动识别、分类、分割及三维重构算法，建立量测数据与工艺参数、设计参数的关联模型，实现缺陷溯源和工艺窗口智能预警。